Thermo Scientific Scios 2 DualBeam是一款高分辨率分析系統,可為的廣泛類型的樣品,包括磁性和不導電材料提供出色的樣品制備和三維表征性能。 Scios 2 DualBeam系統功能設計,優化了樣品處理能力、分析精度和易用性,是滿足科學家和工程師在學術和工業環境中進行研究和分析的理想解決方案。
Scios 2 DualBeam可快速輕松的定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。系統配備Thermo Scientific Auto Slice&View軟件,可以高質量、全自動地采集多種三維信息。無論是在STEM模式下以30kV來獲取結構信息,還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息,系統可在很廣泛的工作條件下提供出色的納米級細節。Scios 2 DualBeam可幫助所有經驗水平的用戶快速、輕松的獲得高質量、可重復的結果,此外,系統專為材料科學中有挑戰的材料微觀表征需求而設計,配備了全集成化、極快速MEMS熱臺,可在接近真實環境的工作條件下進行樣品表征。
發射源:高穩定型肖特基場發射電子槍
分辨率:
☆ 非常好的工作距離下
☆ 30 keV下STEM 0.8 nm
☆ 1 keV下1.6 nm
☆ 1 keV下電子束減速模式1.4 nm
電子束參數:
☆ 探針電流范圍:1 pA ~ 400 nA
☆ 加速電壓范圍:200 V ~ 30 kV
☆ 著陸電壓范圍:20 eV ~ 30 keV
☆ 大水平視場寬度:7 mm WD時為3 mm,60 mm WD時為7.0 nm
☆ 導航蒙太奇功能,可額外增大視場寬度
離子光學:
大束流Sidewinder離子鏡筒
加速電壓范圍:500 V~30 kV
離子束流范圍:1.5 pA ~ 65 nA
15孔光闌
標配不導電樣品漂移抑制模式
離子源壽命至少1000 小時
離子束分辨率30 kV下3.0 nm
樣品室:
☆ 電子束和離子束重合點在分析工作距離處(SEM 7 mm)
☆ 端口:21個
☆ 內寬:379 mm
樣品臺:靈活五軸電動樣品臺
☆ XY范圍:110 mm
☆ Z范圍:65 mm
☆ 旋轉:360° 連續
☆ 傾斜:-15° ~ +90°
☆ XY重復精度:3 μm
☆ zui大樣品尺寸,直徑110 mm,可沿X、Y軸完全旋轉時
☆ zui大樣品高度,與優中心點間隔為85 mm
☆ zui大樣品質量 5 kg(包括樣品托)
☆ 同心旋轉和傾斜
樣品托:
☆ 標準多功能樣品托,以獨特方式直接安裝到樣品臺上,可容納18個標準樣品托架(φ12mm)、3個預傾斜樣品托、2個垂直和2個預傾斜側排托架(38°和90°),樣品安裝無需工具
☆ 每個可選的測排托可容納6個S/TEM銅網
☆ 各種晶片和定制化樣品托可按要求提供(可選)
探測器系統:可同步檢測多達四種信號
☆ 樣品室二次電子探測器ETD
☆ 鏡筒內背散射電子探測器T1
☆ 鏡筒內二次電子探測器T2
☆ 鏡筒內二次電子探測器T3(選配)
☆ IR-CCD紅外相機(觀察樣品臺高度)
☆ 圖像導航彩色光學相機Nav-Cam+™
☆ 高性能離子轉換和電子探測器ICE
☆ 可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態背散射探測器DBS
☆ 電子束流測量
控制系統:
☆ 64 位操作系統、鍵盤、光學鼠標
☆ 圖像顯示:24寸LCD顯示器,高顯示分辨率1920×1200
☆ 支持用戶自定義的GUI,可同時實時顯示四幅圖像
☆ 本地語言支持
多功能控制板與Joystick操縱桿(可選)
特點與用途:
☆ 使用Sidewinder HT離子鏡筒快速、簡便地制備高質量、定位TEM和原子探針樣品;
☆ Thermo Scientific NICol 電子鏡筒可進行高分辨成像,滿足廣泛類型樣品的成像需求;
☆ 各類集成化鏡筒內及極靴下探測器,采集優質、銳利、無荷電圖像,提供完整的樣品信息;
☆ 可選ASV4軟件,精確定位感興趣區域,獲取優質、多模態內部和三維信息;
☆ 高度靈活的110 mm樣品臺和內置的Thermo Scientific Nav-Cam相機實現精確樣品導航;
☆ 專用的DCFI漂移抑制技術和Thermo Scientific SmartScan等模式實現無偽影成像和圖形加工;
☆ 靈活的DualBeam配置,優化解決方案滿足特定應用需求。